真空氣氛爐的爐管有310s不銹鋼材質(zhì)的，有剛玉材質(zhì)的也有石英材質(zhì)的。不銹鋼管式爐能做到高真空，可達(dá)0.001pa，但是溫度一般不超1000°C。剛玉管和石英管只能做到低真空，但溫度可超過(guò)1000°C。如果管式爐有地方漏氣，則應(yīng)先檢查連接口部分。一般是這個(gè)地方的生膠帶太薄就容易漏氣，此時(shí)的管式爐壓升率很大，一般幾十分鐘就和大氣壓一樣了。